低成本数字式质量流量控制器S600
多种通讯:模拟输出、数字通讯:RS485通讯或者Profibus。
电源选择:DC24V、±15V ;
密封方式:橡胶密封、金属密封
S600热式质量流量控制器用于高性价比,是horiba厚礼博的明星产品。
流量范围10sccm-200SLM。
能够在较大的量程范围内在线实时地控制气流质量流量。
利用气流流过不锈钢毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量;不同于测压力或测体积方法等类别流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。上下游温差测量电路信号实时反映气流瞬时流量,并通过PID电路实时控制比例电磁阀控制流量,所以特别适用于过程控制中在线实时的气体流量的测量和控制。
☆ 具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆ 耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小,工作压力范围宽。
☆ 阀体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
线路板、阀体、弹**、精密电阻和电容等为重要零部件,均执行严格的入厂标准。
☆ 可任意角度安装。
☆ 电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。
配合MT-50系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行测量和计量。