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高温应用质量流量控制器 SEC-8000

高温应用质量流量控制器 SEC-8000

SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

产品详情

 

高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列

 

HORIBA S800产品图片

商品详情

高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列

耐温150℃,最大流量1050SLM


概  要

        SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求。 HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。


特  征

·适用于高温:可满足150℃烘焙

·具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度:±1.0% 设定流量.

·超快速响应

·超洁净处理

·满足RoHS 环境标准

 

特  征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温:可满足150℃烘焙

产品阵容中有可满足使用温度的产品型号

超清洁类型:接气部全不锈钢构造

最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制


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