高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列
商品详情
高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列
耐温150℃,最大流量1050SLM,
概 要
SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。
特 征
·适用于高温:可满足150℃烘焙
·具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度:±1.0% 设定流量.
·超快速响应
·超洁净处理
·满足RoHS 环境标准
特 征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
适用于高温:可满足150℃烘焙
产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
超清洁类型:接气部全不锈钢构造
最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制