低成本质量流量控制器S48/32
S48/32是horiba厚礼博的畅销产品，流量从1sccm-50LPM，精度1%，电源有±15V和24V可选，输出信号有4-20mA、0-5V可选。
质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
*气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降
*操作使用方便，可任意位置安装。
S48 32/HMT质量流量控制器（流量计）
编号 | 项目 | S48 32/HMT |
1 | 流量规格 | (10,50,100,500)mL/min (0～1,5,10)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 安装方向 | 任意 |
5 | 流量控制范围 | 2%～100% |
6 | 流量测量范围 | （0～100）% |
7 | 零点温漂 | ±30mV（15℃～35℃） |
8 | 响应时间 | 2s（设定值的±2% F.S） |
9 | 工作环境温度 | 5℃～50℃ |
10 | 精度保证温度 | 15℃～35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 线性精度 | ±0.5%F.S |
13 | 重复性 | ±0.2%F.S |
14 | 工作压差 | ＜5L/min(0.05～0.3)MPa ，5L/min～10L/min： (0.1～0.3)MPa |
15 | 耐压 | 10MPa |
16 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s |
17 | 接触气体材料 | 橡胶密封：SUS316L、PTFE、Viton氟橡胶 |
18 | 管路接头 | 1/4Swagelok,Φ6～Φ10 |
19 | 供电电源 | ±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA； |
20 | 设定信号 | ±15VDC：(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ |
21 | 流量输出信号 | ±15VDC：(0～5)VDC 负载能力≤3mA |
22 | 电气接头 | D-SUB15 |
23 | 外形尺寸mm | 113(宽)×121（高）×32（厚） |
