HORIBA S48-400无线控制质量流量控制器

1

流量规格

    (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
    (1,2,3,5,10,)L/min

2

调节阀类型

    电磁调节阀

3

调节阀静止状态

    常闭

4

安装角度

    任意

5

流量控制范围

    2%～100%

6

准确度

    ±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
    ±0.30% F.S.(＜30% F.S.) 

7

线

    ±0.5%F.S. 

8

重复精度

    ±0.2%F.S. 

9

响应时间

    ≤ 1 s

10

工作压差范围

   (0.05~0.3)MPa(<10L/min); 

   (0.1~0.3) M  Pa(10~50)L/min

11

耐压

   3MPa          

12

工作环境温度

  5℃~45℃

13

精度保证温度

  15℃~35℃

14

接触气体材料 

  316L,Viton®,PTFE,或其他

15

漏率

 ＜1×10-8Pa·m3/s

16

接头

  Swagelok:Φ6mm,1/4″
  VCR:1/4″或其他

17

输入信号

  WIFI 

18

输出接口

  WIFI 

19

通讯接口

  WIFI
  Modbus TCP协议从机 

20

供电电源

  11V~25V(±2%)