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SEC-Z500X流量控制器

SEC-Z500X流量控制器

热式质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。 HORIBA销售量高的数字式气体质量流量控制器,包含多气体/多量程功能以实现自由快速更改气体种类或满量程。 压电陶瓷阀实现高精度± 1.0% S.P.,快速响应,有效提高良率及简化备件管理。

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商品详情

 

高性能数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

畅销型号 Z512MGX,SEC-Z522MGXN,SEC-Z532MGX,SEC-Z542MGX,SEC-Z552MGX,SEC-Z562MGX,SEC-Z514MGX,SEC-Z524MGXN,SEC-Z534MGX,SEC-Z544MGX,SEC-Z554MGX,SEC-Z564MGX,SEC-Z512MGX,SEC-Z522MGXN,SEC-Z532MGX,SEC-Z542MGX,SEC-Z552MGX,SEC-Z562MGX,

流量范围0.5sccm-500SLM

日本horiba堀场/厚礼博品牌的SEC-Z500系列属于高性能数字式热式质量流量控制器,主要应用MOCVD、PECVD等设备。

概  要


热式质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA销售量高的数字式气体质量流量控制器,包含多气体/多量程功能以实现自由快速更改气体种类或满量程。
压电陶瓷阀实现高精度±  1.0% S.P.,快速响应,有效提高良率及简化备件管理。


特  征


高精度±1.0% S.P.
  HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现所有量程上的高精度。为了更真实的反应实际气体精度,HORIBA STEC监测了不同的工艺气体并创建了针对不同气体的校正数据,建立标准气体管理系统,实现真实气体精度确认。

高速响应
  装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改,也能不会影响PID功能。

多气体,多量程解决方案
  HORIBA的配置软件可简单快速的更改MFC的规格。更好的是MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举有效减少MFC库存需求,极大减少时间和成本的浪费。

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