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Horiba 微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F

Horiba 微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F

Horiba微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F商品详情 畅销型号:LV-F20、LV-F30、LV-F40、LV-F50;LF-F20M-A、L

产品详情

Horiba 微小液体质量流量计LF-F
质量流量控制器LV-F

商品详情


畅销型号:LV-F20、LV-F30、LV-F40、LV-F50;LF-F20M-A、LF-F30M-A、LF-F40M-A
Horiba
微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列

搭载有世界上冷却检测方式的流量传感器


特  征


·  通过采用数字回路,实现了高精度・高速响应。

·  可以进行微升以上的微小流量控制。

·  可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。

·  超洁净类型

选型要求:按以下规格确认型号,并请提供参数:介质名称、量程、接口尺寸。


 規  格 


   名  称

                                                     质量流量控制器

   型  号

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

  检测控制

     范围

   5〜100% F.S.

  对象液体

   种类*1

   可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

    液体

   粘度*2

   低于 0.01 Pa·s (10cp)

   精度*3

   ±1% F.S.

 直线性*3

   ±0.5% F.S.

 重复性*3

   ±0.5% F.S.

 响应精度

   3秒以内(T98)

   2秒以内(T98)

 使用环境

  温度*4

   5〜50℃(15〜45℃精度的确保)

 温度影响

   Span

   ±0.1%F.S./℃

  工作差

  压值*5

   0.05〜0.3MPa

   耐 压

   1MPa

  压力损失

   ー

  流量设定

    信号

   模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议)

  流量输出

    信号

   模拟:0〜5 VDC(*小负荷电阻2kΩ)数字式:RS485(F-Net通信协议)

  驱动电源

  +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%,   200 mA

  外部泄漏

    规 格

  PO类型:1×10-8Pa•m3/s (He)   MO类型:5×10-12Pa•m3/s (He)

接液部材质

  PO类型:SUS316L,Ni,PTFE,PFA MO类型:SUS316L,Ni

标准接头

  1/16”,1/8”卡套;
  1/8”VCR

1/8”SWL类型,1/8”VCR类型

1/4”SWL类型1/4”VCR类型


 

       名  称

                                                质量流量计

       型  号

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5〜100% F.S.

对象液体种类*1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外

液体粘度*2

不高于 0.1 Pa·s (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直线性*3

±0.5% F.S.

重复性*3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内(T98)

2秒以内(T98)

使用环境温度*4

5〜50℃(15〜45℃精度的确保)

温度影響Span

±0.1%F.S./℃

工作差压值值*5

不高于5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa   (with piezo控制阀)

耐压

10MPa (视为流量计)

压力損失

不高于 500Pa

流量设定信号

模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟:0〜5 VDC ;数字式:RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%,   200 mA

外部泄漏规格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材质

SUS316L, Ni

标准接头

1/16”,1/8”SWL类型,1/8”VCR类型

1/8”SWL类型,1/8”VCR类型

1/4”SWL类型1/4”VCR类型


*1:LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时,请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时,请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2:LF-F类型质量流量控制器根据流量量程,可以适用到 *大值,0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3: 以SEMI E56-1296为准。
*4: 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10℃以 内;如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3℃以内。
*5:这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。

 


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