HORIBA GR-312/GR-312F/GR-314/GR-314F氦背压控制器
GR-300 系列晶圆背面冷却系统
GR-300系列可以控制用于冷却通过静电卡盘系统固定到位的晶圆背面的气体。
GR-300的稳定性和准确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流动的理想选择。
HORIBA GR-312/GR-312F/GR-314/GR-314F氦背压控制器特点
压力控制更稳定、更准确
质量流量传感器（可选）
兼容各种配件
符合 RoHS 标准
GR-300 系列晶圆背面冷却系统应用示例
在下面的示例中，GR-300 系列控制用于冷却通过静电卡盘系统固定到位的晶圆背面的气体。
HORIBA GR-312/GR-312F/GR-314/GR-314F氦背压控制器技术参数