HORIBA IR-300蒸汽浓度监测仪IR-314M/IR-322M

HORIBA IR-300蒸汽浓度监测仪IR-314M/IR-322M

HORIBA IR-300蒸汽浓度监测仪

IR-312M/IR-314M/IR-322M/IR-324M型号

IR-300 蒸汽浓度监测仪介绍

金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺广泛应用于发光二极管、光学器件和其他组建的制造。通过控制温度、压力和载气流速（鼓泡法），液体和固体化学品被输送到反应室。IR-300 系列可实时测量和报告化学品浓度，为用户带来以下优势：

优化制程控制，生产更多高级器件

提高器件成品率并减少废料

提高再现性

了解何时需要更换鼓泡器

延长 MTTA

减少非计划干预

减少高价值的化学品浪费

IR-312M/IR-314M/IR-322M/IR-324M型号特点：

实时监测

快速响应和出色的重复性允许实时跟踪蒸汽浓度的变化

多重校准曲线功能（可选）

允许测量多达 3 种化学品或量程的浓度

多重显示功能

IR-300 设备顶部的多重显示功能为用户提供了浓度监测和前驱体供应管线状态的现场检查能力

通信功能

通过 DeviceNet™、RS485 和模拟通信连接

设计简单紧凑

该设备的面对面尺寸为 124 毫米，设计紧凑且不受安装方向限制，易于集成

高光强和长寿命光源与高速信号处理相结合，使 IR-300 系列能够对化学品浓度的变化做出更快、更可重复的响应。这些特性通过实时在线浓度测量，让用户真正了解实际制程。

MOCVD 化学品的测量示例

■实验流程图

■前驱体浓度变化监测

这是一个示例，其中实时监测所供应前驱体的浓度（由于背压调节器调节起泡器中的压力而变化）。

测量技术：可靠、高性能的非色散红外吸收测定法 （NDIR）

IR-300系列采用的红外吸收法采用测量红外光源发出的红外光中气体分子的吸收的原理。将吸收被测气体的样品输出的样品与没有吸光度的参考输出进行比较，并将结果转换为气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期、稳定的测量结果。

IR-312M/IR-314M/IR-322M/IR-324M技术参数: