HORIBA IR-400系列气体监测仪

HORIBA IR-400系列气体监测仪

HORIBA IR-400用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

IR-400 可在沉积过程中实时监测腔室清洗终点。通过优化清洗过程，IR-400 减少了清洗时间和气体用量。清洗气体用量减少会降低对腔室的损害，并增加所有系统部件的寿命。

HORIBA IR-422 IR-432/IR-427 IR-437气体检测仪特点

多气体监测（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)

高灵敏度

气室加热功能最高可达 180℃

多重显示

模拟/数字通信

IR-400 实时终点监测的优势

减少腔室清洗时间

减少清洗气体使用量

可重复和可预测的清洗过程

延长腔室组件寿命

HORIBA IR-422/IR-432/IR-427/IR-437应用示例

监控室排气管线

测量技术

可靠、高性能的非分散红外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的红外吸收法利用测量红外光源发出的红外光中气体分子吸收的原理。将吸收了被测气体的样品输出与无吸光度的参考输出进行对比，并将结果转换成气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期稳定的测量结果。

光学系统由光源、气室和双光束检测器组成。双光束检测器的稳定性已得到 40 多年的验证。

IR-422/IR-432/IR-427/IR-437气体检测仪技术参数：