UR-Z722M-B压力控制器数字模拟通讯

HORIBA UR-Z722M-B压力控制器数字模拟通讯

HORIBA  UR-Z722 数字式自动压力控制器特点: 

消除大流量气路切换引起的串扰影响

・ 拥有先进的流体蒸发系统

・ 通过合理的布局使得气体显示面板简单明了

高流量控制

・配备新研发的高流量控制阀

快速响应：0.5 秒内

灵活的设计：调节器可以安装在任何位置，由于使用电信号进行控制，适用于各种气体供应系统

入口控制型（-B 型）和出口控制型产品系列

在表压型或绝对压力型之间进行选择

符合 RoHS 标准（UR-Z704 系列）

超洁净：全金属结构（M 型）

HORIBA UR-Z722M-B压力控制器数字模拟通讯应用实例

① 应用于智能系统的发展

当气体管路被一个大型机组所分隔开，比如金属有机气相沉积(MOCVD)或者液晶溅射化学气相沉积，同时又被质量流量控制器所控制时，该管路气体流量值的突然改变就会影响到其他管路。然而，即便在上述情形下，UR 系列的产

品仍可以快速、精确的调整管道中的气体压力，实现稳定控制，并且保证多个质量流量控制器之间互不干扰。

② 应用于液体气化系统的发展

为 MOCVD (或者High-k CVD) 和其他制程中，可以控制稳定的源端压力。（主要应用于大气压条件下）

HORIBA UR-Z722M-B压力控制器数字模拟通讯技术参数